원통형 타겟
기존의 타겟의 형상은 평판 타입이 일반적 입니다만, 최근 스퍼터 장비의 발전으로 원통형 타겟도 사용이 가능하게 되었습니다.폐사는 원통형 타겟을 조기에 양산하여 고객에 제공하고 있으며,품질은 기존 평판 타입과 동일 합니다. 현재 ITO타겟과 더불어 IGZO 타겟도 양산하고 있으며, 고객에 요구에 맞추어다양한 조성의 타겟을 제공할수 있습니다.
용도
평면 패널 디스플레이, 터치 패널 용도
특성치 ITO
| 표준 | 단위 | 비고 | ||
|---|---|---|---|---|
| 조성 | In 2 O 3 | balance | wt.% | ー |
| SnO 2 | 3,5,7,10 ※1 | ー | ||
| 순도 | ITO | ≧99.99 | % | ー |
| 상대 밀도 | ≧99.5 ※2 | % | ー | |
※1 스탠다드 조성. 그 외의 조성에 대해서도, 요구에 따라 대응하겠습니다.
※2 10wt%SnO2-ITO
특성치 IGZO
| 표준 | 단위 | 비고 | ||
|---|---|---|---|---|
| 조성 ※1 | In | 1 | at ratio | ー |
| Ga | 1 | ー | ||
| Zn | 1 | ー | ||
| 순도 | IGZO | ≧99.99 | % | ー |
| 상대 밀도 | ≥99.5 | % | ー | |
※1 In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 이외에 각종 조성의 제조가 가능합니다.
생산 거점
일본:후쿠오카현 오무타시 대자 당선 2081(미이케 타겟 공장)
대만：타이중시 梧棲區緯五路6號 (대만 특격 가랑이 유한 공사)
