스퍼터링 타겟

스퍼터링 타겟은 스퍼터링에 의해 박막을 만들 때의 원료가 됩니다.
스퍼터링이란, 그림과 같이 진공중에서 타겟재에 Ar 이온을 부딪치는 것에 의해 두드려진 타겟재(원자)를 반대측의 기판에 퇴적시켜 박막을 만드는 방법입니다.
타겟 재료는 일반적으로 몇 밀리 두께의 원형 또는 직사각형의 판상으로, 백킹 플레이트에 본딩되어 있습니다.